特点
● 内置质量流量控制器和读取单元的小型手持式质量流量控制装置。
● 触控面板式,可轻松操作全刻度设定、流量设定、阀门开闭等。
● 空气用※可另行定制用于其他流体(Ar、CO2、H2、He、N2、O2等)
规格
● センサー方式:熱式センサー
● 対象流体:AIR用※別途ご用命があれば他の流体(Ar、CO2、H2、He、N2、O2等)でも製作可能
● バルブ方式:比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
● 制御/計測範囲:2~100%F.S
● 流量精度:±1.0%F.S.(25℃)
● 耐圧:980KPA(G)
● 接ガス部材質:SUS316、FKM
● 接続口径:1/4スウェージロック(※その他継手ご相談ください。)
● 電源:AC85~264V 48~440Hz