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涡轮分子泵排气装置    
ターボ分子ポンプ排気装置 Turbo Molecular Pump Evacuation System

参考资料

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特点


● 在底座支架内紧凑设置必要的设备，适合洁净的真空环境。

规格


● 型号:VPT-060
● 尺寸(mm):340×340×355
● 重量(kg):17
● 到达压力:10^-5Pa台
● 主泵:涡轮分子泵(风冷式)60L/sec
● 辅助泵:隔膜型干式真空泵20L/min
● 所需电量:单相100V0.3kVA
● 吸气口:ISO63

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