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显微分光膜厚仪 自动XY平台型  
顕微分光膜厚計 自動XYステージタイプ Optical Thickness Meter OPTM series

参考资料

非接触·非破坏·显微!测量时间仅1秒!

特点


● 非接触、非破坏式,量测头可自由集成在客户系统内。
● 初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式
● 高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的绝对反射率,可分析多层薄膜厚度、光学常数(n:折射率、k:消光系数)
● 单点对焦加量测在1秒内完成
● 显微分光下广范围的光学系统(紫外~近红外)
● 独立测试头对应各种inline定制化需求
● 最小对应spot约3μm
● 专利(专利编号第5172203号)可针对超薄膜解析nk

规格


● 半导体、复合半导体:硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、介电常数材料
● FPD:LCD、TFT、OLED(有机EL)
● 资料储存:DVD、磁头薄膜、磁性材料
● 光学材料:滤光片、抗反射膜
● 平面显示器:液晶显示器、薄膜晶体管、OLED
● 薄膜:AR膜、HC膜、PET膜等
● 其它:建筑用材料、胶水、DLC等

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