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线扫描膜厚仪 在线型  
ラインスキャン膜厚計®インラインタイプ Line-Scan Thickness Monitor ™ (In-line type)

参考资料

分光膜厚测量的先驱者，实现高精度全幅·全长测量

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特点


● 采用线扫描方式无遗漏检测整面薄膜
● 最短1ms可测量500mm宽度的膜厚（膜厚测量范围：0.1μm～300μm）
● 硬件·软件均为创新设计
● 作为专业膜厚测量厂商，提供多种支援

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