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薄膜卡盘用加热板 PA系列    
フィルムチャック用ホットプレート

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特点


● 吸附部位为陶瓷烧结体,可对薄膜状工件进行精密加热。
● WPFC型的线路部分为防水结构。
● 适用于装置内嵌等用途。

规格


● 使用温度范围:室温~200°C
● 温度分布精度:±1.5%
● 板部分:陶瓷多孔质体
● 真空端口:外径Φ6mm用一键连接
● 推荐真空泵:隔膜式泵(排气速度20L/min)
● 电源:AC100V50/60Hz
● 电源电缆长:1.5m(前端R3.5压接端子)
● 传感器电缆长:1.5m(前端R3.5压接端子)

备注

电源注意:
● 该商品电源为AC100V,使用时请务必搭配100V变压器使用。
● 相关变压器产品,请参照中文2019号477页/2017号884页或者直接咨询我司。

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