特点
● 电动无绳型可拾取 300mm的 晶圆。
● 适用于拾取晶圆、磁盘介质等。
● 内置适用于1级洁净室的排气过滤器(后排气式真空泵)。
● 操作开关带有锁定机构。
规格
● 极限真空度:约-50kPa
● 材质:主体/铝、晶圆芯片/铝(表面:硬质阳极氧化处理)
● 电源:AC100V 50/60Hz
● 电池:9.6V镍氢(Ni-MH)
● 重量:约170g(晶圆芯片除外)
● 附件:VPW6300AR-VWT5R/充电座・晶圆芯片(VWT-5R-AR)・AC适配器、VPW6300AR-XWT/充电座・AC适配器