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涡轮分子泵nEXT85H  
nEXT85H　ターボ分子ポンプ

参考资料

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特点


● 混合动力轴承泵配备复合拖动平台和一体式控制器，排气速度范围为42～400L/s。
● 采用特制的永磁铁上部轴承，实现无碳氢化合物的高/超高真空环境，保障高速运转的可靠性。
● 板载控制器可与本公司TIC及TAG控制器直接连接，实现经济高效的系统集成。
● 轴承盒设计为用户可更换，提高了可维护性并降低了总体拥有成本。

规格


● 压缩比:>1011
● 达到压力:<5×10-8
● DC24V规格
● ※商品说明请观看动画(旁白为英文)。

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