特点
● 異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRANシリーズマルチイオンゲージ』シリーズです。
● 三極管型電離真空計である本製品は、感度低下がしにくく、真空計にとって厳しい環境でもより長く精度の良い真空計測が可能です。
● 従来の、高寿命、低ランニングコストのコンセプトを引き継ぎながら、よりユーザーフレンドリーな改良を行いました。
● 異なる測定範囲の測定子が接続可能:マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能
● コンパクト:従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)
● ユーザビリティ向上:PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
● 三極管型メタル電離真空計(特許申請中):真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
● フィラメント寿命お知らせ機能:フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
● 広範囲の圧力測定:大気圧から高真空領域(1×10+5~1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
● 正確な大気圧測定:チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)
● 用途
● ▼有機EL、タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およびプロセス管理用に
● ▼真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に
● ▼ハイドロカーボン(油系)が多い雰囲気での測定に
● ▼真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定に
● ▼真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用に
● ▼※腐食性ガス(ハロゲンガス)雰囲気でのご使用の場合はご相談ください。