特点
● 对晶圆、玻璃基板等的超薄工件进行均匀加热。
● 工件可通过真空吸附固定。
● 可使用附带的温度调节器进行精密温度控制。
规格
● 表面处理:黑色阳极氧化铝
● <热吸盘部分>
● 温度精度:±1.5%
● 重量:约3kg
● <温度调节器>
● 电源:AC100V50/60Hz
● 尺寸:98×156×101mm
● 重量:约1.3kg
● 另外需要真空泵(推荐泵例:1-9197-02隔膜型干式真空泵DAP-12S)。
备注
电源注意:
● 该商品电源为AC100V，使用时请务必搭配100V变压器使用。
● 相关变压器产品，请参照中文2019号477页/2017号884页或者直接咨询我司。