特点
● “KD”系列为紧凑设计的直接隔膜阀,实现高Cv值,具备可应对半导体用高纯度气体的质量,兼顾高耐久性和强耐腐蚀性,是一款可靠性较高的阀门。
● 将本体纵孔尺寸缩至最小,内容积缩小至1.2cm(31/4"CVC凸纹Open时),实现良好的气体置换特性。
● 通过独家的接气部分密封结构,较大限度地追求强密封性能、强耐久化、脱气性能和耐腐蚀性能。
● 通过严格筛选的隔膜材质实现强耐腐蚀性能,同时利用独家的成形方法进行加工,较大限度地消除个体差异,实现强耐久性能。
● 通过较高等级的制造环境和内面研磨处理,应对半导体用高纯度气体,较大限度地追求微尘粒性能。