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倾斜小平台  
傾斜スリムステージ TDシリーズ

参考资料

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特点


● 双轴倾斜位移平台设计。
● 该平台利用球状支点连接上位移平台与底座。

规格


● 移动量:±3°
● 眼量:0.01mm(微米式)

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