特点
● 可不受水、气体、化学药品等影响地进行温度测量。
● 可以用于复杂机构的内部和旋转体、真空装置中的物体等无法使用常规温度计的情况。
● 作为防等离子体环境措施，用KAPTON薄膜进行了覆盖。
● 从标签的一端到示温元件的距离是1mm，因此可以测量晶圆边缘的温度。
● 因为是背面印刷，所以会防止印刷墨水在真空中飞散，减少排气。
● 超小尺寸的真空内测量标贴
规格
● 显示:3点显示
● 精度:±1%(100°C以下±1°C)
● 反应速度:1秒(水中，温和的热梯度)
● 尺寸:8mm×3mm
● 示温尺寸:φ1.5mm
● 不可逆性
● ※不保证真空内的温度精度。
● ※精度为1个大气压下的熔点利用。