特点
● 是洁净过滤器与减压阀、ON/OFF阀和流量开关等加以模块化的商品。
● 实现了模块化，因此可减少配管工时，节省空间并且能轻松获得洁净空气。
● 在无尘室内组装，双层打包发货。
规格
● 使用流体:清洁空气、N2气体(入口空气条件/相当于ISO8573-1质量等级1.4.1~1.6.1)
● 最高使用压力:0.7MPa
● 设定压力:0.05~0.4MPa
● 流体接触部:无润滑脂、无硅
● 使用流体温度:5~45°C(数字流动开关/15~35°C)
● 过滤过度:0.01μm(捕集效率99.99%)
● 流量范围:5~100L/min
● ※可根据使用用途组合其他模块。请咨询。