特点
● 複合ドラッグステージと一体型コントローラを備えたハイブリッド軸受けポンプで、42～400L/sの排気速度で提供されています。
● 永久磁石製上部軸受けが特長でハイドロカーボンのない、高/超高真空を実現し、信頼性の高い高速運転を可能にします。
● オンボードコントローラは当社のTICおよびTAGコントローラに直接接続できるため、低コストのシステム統合を実現しています。
● ユーザーが交換可能な軸受けカートリッジによってユーザー保守性を提供し、所有コストを低減しています。
规格
● 压缩比:>1011
● 达到压力:<5×10-8
● DC24V规格
● ※商品说明请观看动画(旁白为英文)。