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涡轮分子泵 nEXT240T    
ターボ分子ポンプ

参考资料

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特点


● 具备复合牵引台与一体式控制器的动静压轴泵，可提供42～400L/s的排气速度。
● 特点是上部轴承采用永磁体制，实现无碳氢化合物的高/超高真空，可进行可靠性良好的高速运行。
● 板载控制器可以直接连接到本公司的TIC 和TAG 控制器上，实现低成本的系统集成。
● 通过用户可自行替换的轴承盒，提升用户维护性，降低持有时的成本。

规格


● 压缩比:>1011
● 达到压力:<5×10-8
● ※请观看商品说明动画(旁白为英文)。

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