特点
● 采用ULVAC特有的高效（IE3）多电压电机。
● 油转真空泵的振动低、噪音小、可靠性高。
● 采用了强制供油方式，在大气压附近排气速度也不易降低。
● 是维保性好的旋转式翼型泵。
● 蒸镀、溅射等真空成膜装置。
● 分析仪器、泄漏测试装置。
● 真空干燥、气体置换等各种真空装置。
规格
● 到达压力(Pa):0.67
● 吸气口径(mm):相当于VG50
● 电源(V):三相多路
● 全高(mm):371
● 使用油:R-72
● 全宽(mm):280
● 全闭外扇三相多路电压电机50Hz:对应200~240/380~415V、对应60Hz:对应200~240/380~460V
● 无热敏保护器
● 排气口:相当于VG40
● 2段式叶片型
● 材质/做工:油缸:铸铁、泵壳:铸铝
● 注意:VD泵未附带油雾收集器。
● 建议购买油雾收集器。
● 出厂时采用200V等级的△接线。
● 本产品出口日本国外时需要办理手续，请告知。