特点
● 电动无绳型可拾取 300mm的 晶圆。
● 适用于拾取晶圆、磁盘介质等。
● 内置适用于1级洁净室的排气过滤器（后排气式真空泵）。
● 操作开关带有锁定机构。
规格
● 极限真空度：约－50kPa
● 材质：主体／铝、晶圆芯片／铝(表面：硬质阳极氧化处理)
● 电源：AC100V 50/60Hz
● 电池：9.6V镍氢(Ni-MH)
● 重量：约170g(晶圆芯片除外)
● 附件：VPW6300AR-VWT5R／充电座・晶圆芯片(VWT-5R-AR)・AC适配器、VPW6300AR-XWT／充电座・AC适配器