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有源离子计    
AIGX(アクティブイオンゲージ)

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特点


● AIGX是一种配备了氧化钇涂层铱丝的紧凑耐用型有源离子计。
● 检测范围为6.6～6.6×10-8Pa，采用线性(1伏/位)输出。
● AIGX具有与电子电路模块回路兼容的测管，配备了脱气和铱丝保护功能，满足作为生产设备的所有要求。
● AIGX的带电粒子放射量非常低，对需要避免粒子混入的工艺来说，是一种理想的真空计。

规格


● 测量范围:6.6-6.6×10^-8Pa

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