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涡轮分子泵    
nEXTターボ分子ポンプ

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特点


● EXT及nEXT涡轮分子泵是一种具有复合阻力级和集成控制器的复合轴承泵，可提供42～400L/s的抽速。
● 全部采用永磁上轴承，实现无碳氢化合物的高/超高真空，实现高可靠性高速运行。
● 板载控制器可以直接连接到本公司的TIC 和TAG 控制器上，实现低成本的系统集成。
● nEXT机型通过可由用户自行更换的轴承套件提供用户可维护性，降低了购置成本。

规格


● 压缩比:>1011
● 达到压力:<5×10-8

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