特点
● 焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度・高剛性ステンレスステージです。
规格
● 【共同规格】
● ▼台面尺寸:60×60mm
● ▼移动量:±6.5mm
● ▼移动指南:滚珠指南
● ▼主要材质:相当于SUS440C
● ▼表面处理:无电解镍
● ▼承载重量:392N(30.0kgf)
● ▼移动精度/直线度:1μm
● ▼移动精度/俯仰:25′′
● ▼移动精度/偏航:15′′
● ▼容许力矩负荷/俯仰:13.2N・m
● ▼容许力矩负荷/侧倾:13.2N・m
● ▼容许力矩负荷/侧倾:9.8N・m
● ▼力矩刚性/侧倾:0.38′′/N・cm
● ▼力矩刚性/侧倾:0.37′′/N・cm
● ▼力矩刚性/侧倾:0.39′′/N・cm
● ▼平行度:50μm
● ▼移动平行度:20μm
● ▼正交度:10μm
● 【个别规格】
● RoHS符合品