特点
● 焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度・高剛性ステンレスステージです。
规格
● 【共同规格】
● ▼台面尺寸:25×25mm
● ▼移动量:±3mm
● ▼移动指南:滚珠指南
● ▼主要材质:相当于SUS440C
● ▼表面处理:无电解镍
● ▼承受重量:59.8N(6.0kgf)
● ▼移动精度/直线度:1μm
● ▼移动精度/俯仰:30′′
● ▼移动精度/偏航:25′′
● ▼容许力矩负荷/俯仰:4.0N・m
● ▼容许力矩负荷/侧倾:4.0N・m
● ▼容许力矩负荷/侧倾:2.0N・m
● ▼力矩刚性/侧倾:3.4′′/N・cm
● ▼力矩刚性/侧倾:3.4′′/N・cm
● ▼力矩刚性/侧倾:3.2′′/N・cm
● ▼平行度:50μm
● ▼移动平行度:20μm
● ▼正交度:10μm
● 【个别规格】
● RoHS符合品