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油扩散泵挡板套件DP-2    
油拡散ポンプ

参考资料

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特点


● 用于需要高真空度场景的真空泵，可轻松获得10-5Pa。
● 加热后的扩散油从喷嘴喷出，产生的超音速喷气流，以此排放至高真空区域。
● 无法单独运行，需将油旋转真空泵作为辅助泵，组合使用。
● 此外，组合为排气组套的产品请参照真空装置内的高真空排气装置。

规格


● 到达压力:1e-05Pa
● 油逆流量(无挡板/带水冷挡板):×10-2/×10~4mg/cm2min
● 电源:100V
● 临界背压:20Pa

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