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XY工作台机构导入机TSL-70    
XYテーブル機構導入機　TSシリーズ XY Table Mechanism Connector

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规格


● 动作范围:XY方向/±5mm、角度/0~5°(仅带角度调节)
● 驱动方式:手动
● 使用压力范围:高真空(1×10^-6Pa)~大气压
● 氦气泄漏量:1.0×10^-9Pa·m3/s
● 烘烤温度:150°C以下

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