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金属显微镜单元    
金属顕微鏡ユニット

参考资料

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特点


● 具有接近眼睛观察部分的小型显微镜单元
● 可以观察金属表面、半导体、液晶、树脂等
● 支持YAG激光器(近红外、可见、近紫外、紫外)的精细加工(半导体电路的切割、修整、校正、标记;薄膜(绝缘膜)的去除和加工;液晶滤色器等的修复(缺陷修理)等
● 适合作为半导体不良分析用探针等光学观察部
● 适用于通过硅系内部观察、红外光学进行分校特性分析等的红外光学系统
● 推出了适用于明视野、暗视野、简易偏振光和微分干涉观察的机型
● 反射照明光学系统标配带孔径光圈的柯勒照明
● 利用入字旋转器和长工作距离物镜确保在显微镜下的高可操作性
● 反射光场光学系统标配带孔径光圈的柯勒照明
● [用途]
● 高效测量、检查和观察精细工件
● 实时监测测量结果信息
● 防止不良发生
● [注意事项]
● 报价需要用于调整用户信息和产品规格的工作图等信息
● 无法保证激光安装系统产品的性能和安全性
● 支持红外光学系统需要额外的红外光源和红外相机等
● 适配器B为选装
● 镜筒部分的可装载重量不包括物镜转换器、物镜和目镜的重量
● 在FS70L和FS70L4上安装YAG激光振荡器时,请注意激光输入值和能量密度等。
● 以防损坏光学系统
● 此外,需检查激光振荡器的重量
● 安装在高速或高加速装置上时需另外咨询

规格


● 观察像:明视场、暗视场、简易偏振光、微分干涉/正立像
● 目镜(必须选项):10×(视场数24)、15×(视场数16)、20×(视场数12)
● 3眼镜筒/视场数:24
● 3眼镜筒/眼宽调整:直筒型、调整范围51~76mm
● 3眼镜筒/倾斜角度:0~20°(仅限-TH)、眼点移动量约114mm
● 3眼镜筒/光路:固定式(接眼/TV=50%/50%)或切换式(接眼/直筒=100%/0%0%/100%)
● 3眼镜筒/相机端口固定部分:C固定部分(使用适配器B)使用适配器B进行同焦距调整orC固定部分规格(同焦距调整机构)orC固定部分规格(带绿色滤光片切换机构)(同焦距调整机构)
● 3眼镜筒/防护滤光片:无or内置激光截止滤光片
● 镜筒/成像(管)镜片:10×(可视修正)内置变焦or1×(近红外~可视~近紫外修正)内置or1×(可视、紫外修正)内置
● 镜筒激光端口/光学系统:无or倍率1×、波长355/532/24nmor266/532nm
● 镜筒激光端口/安装部分:无可搭载orYAG激光振荡器(基本、第2、3高次谐波)可搭载orYAG激光振荡器(第2、4高次谐波)可搭载
● 对焦部分/粗微动:轴粗微动(粗动3.8mm/1转,微动0.1mm/1转)
● 对焦部分/移动量:15mm、左右手柄
● 反射照明光学系统:明视场落射照明(附带开口式照明)
● 照明装置(选配):16V20W光纤照明装置(No.378-700)/12V24W光纤照明装置(No.176-316)均为无级体积调光式、光导长度=51~76mm
● 旋流器(必须选项):调心同焦手动旋流器4孔/调心电动旋流器5孔or手动旋流器4孔/电动旋流器4孔or调心同焦手动旋流器4孔/调心电动旋流器5孔
● 物镜(必须选项)/观察用:MPlanApo系列、MPlanApoHR系列、MPlanApoSL系列、GPlanApo系列或BDPlanApo系列、BDPlanApoHR系列、BDPlanApoSL系列
● 物镜(必须选项)/激光加工用:无orM/LCDPlanApoNIR系列、M/LCDPlanApoNUV系列orMPlanUV系列
● 镜筒部分可装载重量:约0~20kg(-TH约114kg)
● 重量:10kg(-TH;7.4~7.5kg)

● ※价格请咨询。
● ※报价发行需要AXEL店铺会员登录。

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