● 实现世界最高精度(最小显示分辨率0.01μm)的最高峰测量显微镜
● 机身采用重视操作性的前置操作设计、UD(通用设计)思想
● 不同于传统的显微镜，全新3轴电动操纵杆操作可以从高速移动到微小定位
● 通用金属显微镜镜筒和内置激光AF镜筒的选择提高了观察多样化和测量的总处理能力
● 250×150mm动程的大型载物台，为显微镜测量提供了更宽松的空间
● 采用超高精度低膨胀玻璃尺和高分辨率检测器头
● 通过与最畅销的数据处理设备[QM-Data200]和[图像单元]的系统化，提供高效稳定的测量环境
● 满足高精度测量需求，如晶圆支架(8英寸以下)和高刚性双中心台
● 电动旋转器规格，配备物镜变倍时的退避功能
● 【用途】高效地测量、检查、观察微细工件
● 实时监测测量结果信息
● 防止不良发生
● 【注意事项】报价需要用户信息和工作图等信息以调整产品规格
● 选配旋转器因工厂而异
● stage的测量精度符合JISB7153

● 镜筒/形状:有限修正光学系统or无限远修正光学系统、明视场or无限远修正光学系统、明暗视场or无限远光学系统、带明视场LAFor无限远修正光学系统、带明暗视场LAF
● 镜筒/标准标线(内藏):90°划线十字线(线宽5μm)
● 镜筒/目宽调节:GedenTop形调节范围51~76mm
● 镜筒/光路切换比:观察/TV照片=50/50
● 镜筒/附视角度:25°或倾斜
● 镜筒/TV接口:标准装备
● 观察像:正立像
● 目镜/倍率:10×・15×・20×
● 物镜(可选)/形状:选择单眼装置(附目镜1个)或双眼装置(附目镜2个)、or10×附目镜2个
● 物镜(可选)/ML物镜:无或1×・3×・5×・10×・20×・50×・90×
● 物镜(可选)/明视场(BF):无或MPlanApo、MPlanApoSL、GPlanApo
● 物镜(可选)/明暗视场(BD):无或BDPlanApo、BDPlanApoSL
● 旋转(选配)/明视场(BF):无或(带手动4孔传感器/带调心电动5孔传感器)
● 旋转(选配)/明视场(BD):无或(带手动4孔传感器/带电动4孔传感器)
● 对焦部/最大被检物高度:51~76mm
● 对焦部/测定精度:(25+10L/15)μmL测定长(mm)
● 对焦部/驱动方式:使用操纵杆的电动控制
● 照明装置/透过照明装置:远心照明·内置光圈·20V10W卤素灯·10级调光式·光纤式冷光照明
● 照明装置/反射照明装置:电缆照明·可变开口光圈机构·20V50W卤素灯·90级调光式·光纤式冷光照明
● 工作台/测定范围(X轴×Y轴×级调光式·光纤式冷光照明
● ):51~76×25mm
● 工作台/测定精度(X・Y轴无负荷时):(10+3L/15)μm)L测定长(mm)
● 工作台/上面尺寸:20×10mm
● 工作台/载物玻璃有效尺寸:10×20mm
● 工作台/转动量:±3°
● 工作台/最大装载质量:50kg
● 工作台/驱动方式:操纵杆电动驱动
● 检测装置:高精度数字标尺(已注册专利)
● 数字显示/最小显示量:90μm
● 数字显示/显示轴:X・Y・Z轴
● 数字显示/数据处理装置:QM-Date或图像单元
● 操作部分/操纵杆锁:有
● 操作部分/精细间距:有
● 操作部分/数据输出:有
● 操作部分/数字显示复位:有操作部分/LAF(跟踪焦点):无或有
● 操作部分/操作部分/数据输出:有旋转器遥控操作:无或有(安装电动旋转器时)