特点
● 用于研究开发的桌面旋转涂布机
● 通过触摸屏进行简单的操作设定。(100制程10步控制)
● 使用标准设备的安全盖进行联锁控制。
● 杯盖可拆卸(易于清洁)
● 杯的特氟龙涂层(可选)
● 带排气口(主机可以进行机内排气)
● 作为内联设备，具有接口。
规格
● 对象尺寸:MAXφ12英寸・200mm□
● 装置尺寸:W540×D750×H330mm(安全套打开时H795mmH)
● ※安全套为标准装备(安全联锁)
● 装置重量:约46kg
● 罩杯外径:φ500mm
● 罩杯材质:SUS+磨砂
● 基板固定方法:真空吸附方式
● 吸附台:德林制(标准规格)Φ196mm(8英寸用)、Φ290mm(12英寸用)
● 旋转电机:AC伺服电机
● 转速:20~5000rpm
● 旋转精度:±2rpm
● 旋转显示:触摸屏上为数字显示
● 程序数:100种模式10步(音序器三菱Q系列，触控板三菱GT系列)
● ※吸附台和真空泵不在报价范围内。