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高纯度碳化硅板    
高純度炭化珪素板

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特点


● 纯度SiC≥99.9999%,高纯度,产品本身几乎没有杂质,因此可靠性较高。
● 具有良好的耐久性和耐热性,用于半导体夹具及假片硅晶片。
● 用于需要高纯度的炉子等加热器。

规格


● 化学組成:SiC≧99.9999%
● 密度:3.15g/cm3
● 曲げ強度:600MPa
● 弾性率:390GPa
● 熱膨張率:4.3E-6/K
● 熱伝導率:230W/m・K
● 体積抵抗値:2E-02Ω・cm
● ※在庫がない場合や、数量が多い場合、納期2~3ヵ月程度かかります。また、工場の稼働次第ではそれ以上かかる可能性もございますので、予めご了承願います。

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