特点
● 内置高端质量流量计和读取单元的小型手持式质量流量测量装置，支持F.S.1SCCM微流量。
● 触控面板式，可轻松操作。
● 空气用※可另行定制用于其他流体（Ar、CO2、H2、He、N2、O2等）
规格
● センサー方式：熱式センサー
● 対象流体：AIR用※別途ご用命があれば他の流体（Ar、CO2、H2、He、N2、O2等）でも製作可能
● 流量精度：±1.0%F.S.（20℃）
● 耐圧：980KPA（G）
● 接ガス部材質：SUS316L、FKM他
● 接続口径：1/4スウェージロック（※その他継手ご相談ください。）
● 電源：AC85～264V 48～440Hz