特点
● 适用于半导体、电子部件、医用材料和器材等无尘环境下的干燥、热处理。
● 水平循环方式可均匀分布温度，并且可抑制开门时热空气散出。
● 用差压计可知道空气过滤器的更换时期。
● 从侧面即可更换空气过滤器。
● 可设定程序运行。运行结束后使用冷却计时器，可迅速冷却。
● 与温度调节器附带的安全装置不同，热敏装置有独立的防止温升装置，并通过双重监控装置防止温度过高。
规格
● 对流方式:送风式(右侧标注，水平)
● 清洁度:100级
● 使用周围温度:5°C~35°C
● 温度调节器:微电脑PID控制(TC-SVI系统)
● 运转形态:定值运转、程序运转(最大100步)1分钟~99小时59分钟
● 温度传感器:K热电偶
● 加热器:不锈钢护套加热器
● 送风风扇:密封圈式风扇(不锈钢)
● 空气过滤器:HEPA过滤器(捕集效率:对于0.3μm粒子为99.97%以上)
● 内装:SUS304
● 门封:硅橡胶
● 安全装置:自我诊断功能(过热、温度传感器故障、加热器断线、SSR短路、环境温度故障)、独立过热防止装置、防止送风机过载装置、防止送风机逆转装置、控制电路保护保险丝、锁键功能、过电流·漏电保护开关
● 测量口:Rc1/4