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机械增压泵    
メカニカルブースターポンプ排気装置

参考资料

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特点


● 机械增压泵、辅助泵、配管紧凑一体化小型高真空排气装置。

规格


● 到达压力:4.0×10^-2Pa
● 主泵:机械增压泵:833L/min(at100Pa)
● 辅助泵:油旋转真空泵:200L/min
● 吸气口:相当于VG-40
● 耗电量:1.5kVA
● 重量:42kg

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