特点
● ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。
● ワークは真空吸着により固定できます。
● 付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。
规格
● 表面处理:镀金
● <热卡盘部分>
● ▼温度控制范围:室温~200°C
● ▼温度精度:±1.5%
● ▼重量:约3kg
● <温度调节器>
● ▼电源:AC100V50/60Hz
● ▼尺寸:98×156×101mm
● ▼重量:约1.3kg
● ※另外需要真空泵(推荐泵例:1-9197-02隔膜型干式真空泵DAP-12S)。
备注
电源注意:
● 该商品电源为AC100V，使用时请务必搭配100V变压器使用。
● 相关变压器产品，请参照中文2019号477页/2017号884页或者直接咨询我司。