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触摸式气体混合器    
タッチパネル式ガス混合器

参考资料

品牌FCON
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特点


● 使用了质量流量控制器，可以提供不受压力和温度影响的稳定混合气体。
● 采用触摸屏式，设置方便。
● 可设置各线的流量和时间，进行编程运行。
● 可设置各线流量的上下限，进行警报音通知。

规格


● 对应气体:Air・N2・Ar・He・H2(其他气体请咨询)
● 流量:各气体F、S、10SCCM~20SLM(但是，各气体的合计流量为50SLM以下)
● 连接:相当于1/4SWL
● 输入电源:AC100V
● ※请求订购、估价时，请联络使用气体种类、流量。

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