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排气处理装置  (ES800系列专用)  
排ガス処理ユニット(ES800シリーズ専用)

参考资料

品牌Sunhayato
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特点


● 去除在蚀刻中产生的气体和水蒸气
● 吸附氯化铁蚀刻中产生的异味和酸
● 恰好能插入蚀刻机的排气口，安装简单。
● 采用干式过滤器，轻松更换滤芯。
● 能作为ES-F1的代用品使用。

规格


● 活性炭过滤器寿命1200小时(风扇运转时间)
● 处理风量3m3/min
● 排气管道长2m以内
● 电源AC100V50/60Hz6W
● 尺寸235φ×405(H)mm
● 重量5kg
● 专用另售品ES-F2交换用活性炭盒ES-F250

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