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隔膜阀  
ダイヤフラムバルブ　WD4MSシリーズ

参考资料

品牌KITZ
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特点


● 可将半导体或液晶装置内使用的TEOS等高纯度液体材料用作流体的隔膜阀。
● 在保证阀门的基本特性、微尘粒性能和净化性能的同时，用户可更换密封（ASSY）部分。
● 与需要定期清理的材料容器的密封阀相比，有助于提升维护性能，降低运行成本。
● 密封（ASSY）部分替换夹具与WD4手动阀通用。
● 作动器直径为φ39.7mm，可应对40mm的直线节距。

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