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阀门    
バルブ　KCD4MSシリーズ

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品牌KITZ
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特点


● “KCD”系列为紧凑型，基本性能完全继承最高机型“KD”系列的高规格阀门。
● 内容积进一步缩至0.97cm3。
● 种类限定至1/4”尺寸，具有与KD系列相同的设计，同时外观尺寸缩小约20%，重量也更加轻盈。
● 耐久性能没有降低，实现自动阀400万次（实绩值），手动阀10万次（实绩值）。
● 通过较高等级的制造环境和内面研磨处理，应对多数半导体用高纯度气体，较大限度地追求微尘粒性能。

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