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晶圆托盘  (纯水处理)  
ウェハートレーSCC WAFER SHIPPING TRAY

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※目录刊载页 : 亚速旺实验用仪器・耗材目录2019号 1399页

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特点


● 将晶圆正面朝下存放。
● 载盘底部为圆盘状，只接触晶圆边缘。
● 用弹簧固定晶圆。
● 托盘之间或托盘与盖子可以层叠，托盘也可以相互固定叠放。

规格


● 材质:天然PP(聚丙烯)
● 套装内容:托盘・盖子・弹簧×各1个
● 符合RoHS2(EU)2015/863

备注

套件内容:
● 托盘・盖子・弹性片×各1个

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