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晶圆托盘    
ウェハートレー WAFER SHIPPING TRAY

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※目录刊载页 : 亚速旺实验用仪器・耗材目录2019号 1399页

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特点


● 将晶圆表面朝下进行收纳。
● 盘低为圆锥状，只接触到晶圆边缘。
● 用弹性片固定晶圆。
● 托盘之间或托盘与盖子之间可叠放，托盘还可相互固定起来叠放。

规格


● 材质：天然PP
● 符合RoHS2(EU)2015/863

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