数据导出
特点
● 是质量流量控制器、控制电源、阀门、止回阀、气体混合器一体式的模块型。
● 可对2～4种不同气体进行流量控制以供应混合气体。
规格
● 对应气体:Air・N2・Ar・He・H2(其他气体请咨询)
● 流量控制范围:各气体F.S.10SCCM~20SLM(但是，各气体的合计流量为50SLM以下)
● 流量设定:可通过10转电位计变化
● 流量设定/输出显示:定标显示
● 设定/输出显示切换:拨动开关
● IN・OUTLET阀门:球阀
● 接气部材质:不锈钢(SUS316)、PTFE(四氟化乙烯树脂)、氟橡胶
● 接头:相当于1/4in.SWL
● 外部泄漏:5×10^-7Pa・m3/secHe
● 输入电源:AC100V
● 使用环境:温度/5~50°C(精度保证范围:15~35°C)、湿度/30~80%(无结露)
● 配件:AC电缆(2m)
● ※请求订单、报价时，请联系使用气体种类、流量。
备注
规格：:
● 外部リーク：5×10^-7Pa・m3/secHe
● 入力电源：AC100V
● 使用環境：温度／5～50℃(精度保証範囲：15～35℃)、湿度／30～80％(結露なし)
● 付属品：AC电缆(2m)
● ※ご注文・お見積り依頼時は、使用ガス種・流量をご連絡ください。