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液体质量流量控制器    
液体マスフローコントローラ

参考资料

品牌LINTEC
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特点


● 通过内置压电执行机构,实现液体质量流量控制器的一体化
● 数字接口标配RS-485
● 配置LINTEC公司独自研发的环境温度补偿方式流量传感器
● 内置微处理器,实现强大的功能
● 膜片结构的阀门,死体积小
● 采用高速、高性能压电执行机构
● 采用耐久性、密封性良好的金属密封,提高易维护性
● 采用金属外壳和各种滤波器,在有高频噪声和直流磁场的环境下也能稳定运行
● 其他液体类型请进行垂询。

规格


● 流量(H2O):0.2g/min
● 流量控制范围:5~100%
● 阀门动作:常开
● 精度:±1.0%F.S.
● 线性:±0.5%F.S.
● 重现性:±0.5%F.S.
● 响应时间:3sec
● 模拟流量设定信号:0.25~5VDC
● 模拟流量输出信号:0~5VDC
● 所需差压:50~300kPa
● 耐压:1MPa(G)
● 使用保证温度:15~35°C0~80%RH
● 限位:1×10-11Pa・m3/secHe
● 接液部分材质:SUS316L、PCTFE
● 密封材料:Au
● 所需电源:+15VDC±3%100mA-15VDC±3%50mA
● 安装姿势:自由
● 模拟连接器:Dsub9pin
● 数字接口:模插孔RJ45/RS-485
● 阀门方式:压电致动器
● 重量:1.0kg

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