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质量流量控制器    
マスフローコントローラ MASS FLOW CONTROLLER

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特点


● 在1秒以内(T98)达到流量设定值的高速响应流量计。
● 搭载了高可靠性的热传感器和电磁阀。
● 搭载了自动调零功能。

规格


● 主体尺寸：-01～06／127×32×126mm、-07～12／124×32×126mm
● 流量精度：±1%F.S.(精度保证范围：15～35℃)
● 响应速度：１秒以内(T98)
● 流量控制范围：2～F.S.
● 接头：SW／1/4世伟洛克相当、VCR／1/4VCR相当

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