特点
● 内置质量流量控制器和读取单元的小型手持式质量流量控制装置。
● 触控面板式，可轻松操作全刻度设定、流量设定、阀门开闭等。
● 空气用※可另行定制用于其他流体（Ar、CO2、H2、He、N2、O2等）
规格
● センサー方式：熱式センサー
● 対象流体：AIR用※別途ご用命があれば他の流体（Ar、CO2、H2、He、N2、O2等）でも製作可能
● バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉）
● 制御/計測範囲：2～100%F.S
● 流量精度：±1.0%F.S.（25℃）
● 耐圧：980KPA（G）
● 接ガス部材質：SUS316、FKM
● 接続口径：1/4スウェージロック（※その他継手ご相談ください。）
● 電源：AC85～264V 48～440Hz