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四级直式油扩散泵    
四級直油拡散ポンプ Four-Stage linear oil diffusion pump

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特点


● 又名四级油泵。扩散泵的原理:在前级真空泵所造成的低真空条件下,加热泵内硅油生成蒸气,以极高速度通过泵内各级喷口喷出,使容器内的气体分子被带到捕集器的位置,再由前级泵抽出,从而使真空系统达到高真空。采用四级喷口,能获得更高的真空度和更大的抽气速率。

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