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● ウェハー径(mm)：150(6")
● サイズ(mm)：143.38×177.80×170.81
● 収納枚数：25枚
● 連続使用限界温度：120℃
● 材質：STAT-PRO(R)9000(カーボンナノチューブ含有強化PEE混合炭素化合物)
● 高温ウェハー投入限界温度：340℃
● 符合RoHS2 (EU)2015/863

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